6月26日|三星電子旗下的韓國半導體和顯示器製造設備公司表示,第一台名為“Omega Prime”的設備已於去年供貨,Semes正在製造第二台設備。目前,Semes已製造出KrF光刻塗膠/顯影設備,並在此基礎上開發了ArF版本,以支持波長更短的新型光刻機。